真空用ゲートバルブ (Vacuum Research Co,.Ltd)

真空装置の製造&関連製品

粉じんが舞う溶解炉向けから、クリーンが要求される半導体製造・分析装置向けまで、あらゆるシーンで性能を発揮します！

VRC社製　「ステンレス＆アルミゲートバルブ」
VRC社のゲートバルブは、ユーザー様の要求にフレキシブルに応えた製品で溶解炉から分析装置までの

低真空から超高真空での各分野向けに対応します。

現在弊社にJIS100Aフランジ付き、JIS150Aフランジ付きゲートバルブ(電動式)在庫ございます。デモ機材として貸し出し可能です！

【主な特長】

アルミ製またはステンレス製での製造

　VRCはステンレス製またはアルミ6061で製造しております。

　メーカー独自の滑らかな表面仕上げ技術により、アウトガスが

　少ないのも特長です。

高いコンダクタンス性
LPWAシリーズで採用した大口径ポートに加え過去40年間、

　VRC社では現在4インチのX-LPWAシリーズを提供しています。

長寿命
アルミタイプで25万回以上の寿命を維持します。
(1日24時間/1年間1サイクル2分ごとで使用)

ステンレス製よりも少ないアルミ製のアウトガス量
VRC製6000シリーズのアルミゲートバルブは、300シリーズのステンレスゲートバルブより
アウトガスが最大2桁少ないことを多くの論文*で示しております。

　もちろん、水素ガスは発生しません。
*Femi Labs の M.Wong博士によって編集されたアウトガスに関する70の査読済み論文の参考文献が http://home.fnal.gov/~mlwong/outgas_rev.htm. にございます。

　　詳しくは文献内40ページを参照ください

ノーリーク

VRC社バルブのリークレートは 5 X 10-10 std cc/sec以下です。

　全ての製品につき、Heリークテストを実施しリークレートを満たした製品を完成品としております。

RoHS対応

　VRC社バルブすべての製品は (RoHS) 2015/863/EU に準拠しており、CEマークを取得しております。

各フランジ規格・駆動方式に対応しております

　VRC社は日本市場向けでの真空フランジ付きで製造販売しております。

　　JISフランジ：８０A～３００A

　ISOフランジ(BT)：６３～４００
　　ICFフランジ(CF)：１１４～３０５

圧空・電動・手動式はじめ、各駆動方式にお応えします。
各製品、外形寸法図面でご提示します。(PDFファイル他)

現在弊社にJIS100Aフランジ付き、JIS150Aフランジ付きゲートバルブ(電動式)在庫ございます。デモ機材として貸し出し可能です！